荷兰光刻机巨头ASML表示，现在在美国的技术封锁下，中企想获取EUV光刻机几乎不可能了，但是中国一直没有放弃，研发投入每年增速超过20%。

2026年3月19日，阿斯麦总部大厅的股价屏上，那根红线又往下掉了一截。

这已经是连续第三个月收绿了。5%，听着不多，但对一家年营收两百多亿欧元的巨无霸来说，那真金白银的蒸发数字，能让任何一个CFO心惊肉跳。

新帅福凯特坐在会议室里，面对投资人的追问，终于把话撂在了桌面上：出口中国的路，基本堵死了。

这话听着硬气，可细品起来，那股子苦涩味儿谁都闻得见。ASML在中国市场的蛋糕，从前能吃到近五成，现在连三分之一都保不住，预测明年还要再砍一刀，跌到两成。

谁都知道这意味着什么。

这不光是丢几个订单的问题。ASML的命根子攥在哪儿？EUV光刻机。可这东西为啥值钱？因为它垄断了整个高端芯片制造的咽喉。全世界的手机旗舰芯片、服务器处理器，哪个离得开它？

美国人不傻。看清楚了这张牌，就开始了层层加码。

2019年是第一道勒痕。那年，中芯国际砸下重金要买EUV机，眼看着就要进厂安装，最后硬生生被搅黄。ASML也憋屈，荷兰政府夹在中间，进退两难。

之后胃口越来越大。2024年，连中端的DUV设备都要审批。2025年更绝，连卖个螺丝钉、派个工程师过来维护，都得走那望不到头的流程。

厂里的机器停下来一秒，都是白花花的银子在流。谁能耗得起？

美国人算盘打得精：把中国锁死在最低端，让它永远追不上来。可他们忘了一件事。中国是什么买家？ASML以前最稳的大金主，妥妥的衣食父母。为了那点虚无缥缈的霸权，把这么大一块肥肉吐出去，结果呢？

搬起石头砸自己的脚。2026年3月，这只回旋镖终于飞回来了。ASML的高管们私底下开始发牢骚：卡着中国不放货，不仅没把对手掐死，反而让自家企业少拿了订单，把未来的生意全搞砸了。这不是伤敌八百自损一千是什么？

更有意思的是，中国不但没服软，反而把研发投入的油门踩到了底。每年20%以上的增速，雷打不动。这里面有个逻辑很有意思：封锁这东西，有时候反而是最好的催产素。你不让买，那我就自己造，而且是玩命地造。

钱从哪儿来？大基金三期，3400多亿的盘子，专门往设备和材料这些硬骨头上砸。各地政府也是真金白银往里填，上海临港直接给出了15%的税收优惠，再加上各种研发补贴，简直就是给创新企业开了个豪华加油站。

结果呢？整个半导体行业的研发投入，2025年直接冲到了680亿，有些领头羊的经费涨幅甚至超过50%。资金重点投向核心部件研发，集中攻克光源、物镜、工件台等决定产业水平的关键元器件，相关研发工作难度大、周期长。

哈尔滨工业大学在放电等离子体技术方向持续攻关，突破关键技术瓶颈，形成自主可控的技术方案与系统能力。13.5纳米的EUV光源，功率稳定在30到120瓦之间。

这数字听着离ASML的250瓦商用标准还有距离，但意义不在数字本身。你得这么想：那层窗户纸捅破了，从零到一这一步，比什么都重要。

光源之外，其他环节也在集体突围。上海微电子的28纳米浸没式光刻机已经上了生产线，2025年直接拿下1.1个亿的订单。不光是能造，而且能赚钱了。

国望光学的物镜精度压到了0.5纳米以内，茂莱光学的国产配套率超过六成，南大光电的28纳米ArF光刻胶打破了日本人的垄断，良品率直接叫板国外厂商。

更绝的是，中国不打算在一条路上走到黑。老路被封了，那就换条路走。纳米压印、电子束光刻，全都在推进。璞璘科技的纳米压印设备，线宽已经做到了10纳米以下，开始给客户供货了。浙江大学那台叫“羲之”的样机，精度直接挂到了0.6纳米，这是冲着量子芯片去的。

多条腿走路的好处是什么？不可能在同一个坑里跌倒一百次。

长期的技术封锁与遏制，并未困住中国的发展脚步，反而倒逼我们建立起自主可控、门类齐全的完整工业生产体系。国产设备的成本比进口货低了四成，还有随叫随到的工程师蹲点服务。换你是买家，你不心动？

而且，别忘了中国手里还有一张牌。稀土出口这道锁一扣，那些用了中国稀土的高端设备，以后出货前都得先算算账。

这世界分工的格局，正在悄悄改写。

ASML的老板们现在算是明白了：这道禁令最后全是苦果，大家分着吃。当初想靠封锁维持垄断，结果反而逼出了一个竞争对手。

更让他们睡不着的是，中国走的这条路子，不是简单的复制，而是在啃透成熟工艺的同时，直接在下一代技术上布棋子。等2030年国产EUV大规模量产的那天，那才是真正见真章的时候。

信息来源：新华网 2025-12-1720：02 日媒惊叹：中国EUV光刻机试产突围，剑指第3个独立制造国